常規(guī)配置真空系統(tǒng)

真空泵：2X-70 SV300 E2M275

增壓泵：ZJP600 WAU2001 EH2600

高真空泵：分子泵低溫泵擴(kuò)散泵

真空室加熱系統(tǒng)：最高溫度：0到200℃

型號(hào)：不銹鋼管裝加熱器

基片架盤型號(hào)：12軸公轉(zhuǎn)或公自轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速：0到30轉(zhuǎn)數(shù)/分軟啟，軟停，可調(diào)速電器控制系統(tǒng)：PC和PLC控制

VAC系統(tǒng)：進(jìn)口復(fù)合真空計(jì)

MFC系統(tǒng)：進(jìn)口質(zhì)量流量控制器；進(jìn)口電磁閥

APC系統(tǒng)：工藝氣體自動(dòng)恒壓控制系統(tǒng)

偏壓電源：直流脈沖電源

濺射電源：直流脈沖電源電源；中頻電源

弧源：多弧，平面，孿生，柱靶

深冷系統(tǒng)：DW-3

全程自動(dòng)控制鍍膜，保障生產(chǎn)產(chǎn)品的一致性，重復(fù)性，穩(wěn)定性。