常規(guī)配置真空系統(tǒng)

真空泵：HG-150 SV630 E2M275

增壓泵：ZJP1200/1800 WAU2001 EH2600

高真空泵：擴(kuò)散泵

基片架盤型號：公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速：0到30轉(zhuǎn)數(shù)/分軟啟，軟停，可調(diào)速電器控制系統(tǒng)：觸膜屏面板或PC和PLC控制

全程自動控制鍍膜以達(dá)到最終產(chǎn)品所需要求

VAC系統(tǒng)：進(jìn)口真空計

硅油系統(tǒng)：德國進(jìn)口流量控制器：1進(jìn)口電磁閥：1

APC系統(tǒng)：工藝氣體自動恒壓控制系統(tǒng)

輔助源：意大利10KW中頻電源，AE電源，直流電源

蒸發(fā)源： 40KW電阻熱蒸發(fā)

深冷系統(tǒng)：真空室麥斯納阱擴(kuò)散泵冷阱