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PVD是物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition)的簡稱,是指在真空條件下,采用物理的方法將材料(俗稱靶材或膜料)氣化成氣態(tài)分子、原子或離子,并將其沉積在工件形成具有某種特殊功能的薄膜的技術,PVD技術的優(yōu)點包括沉積速度快、無污染,可以沉積多種不同性質(zhì)的膜層,如金屬膜、氧化膜、氮化膜等,常見的PVD沉積技術有:蒸發(fā)技術、濺射技術、電弧技術。
真空離子鍍膜技術是PVD技術的一種,是指在PVD沉積過程中,被鍍材料形成金屬或者非金屬等離子體(如Ti離子,N離子),等離子體在偏壓電場的作用下,沉積在工件表面上,并可在復雜形狀的工件上沉積均勻的膜層,靶材通常是金屬或合金材料,可以通過改變靶材、電壓、氣體組合等參數(shù)來控制膜層的性質(zhì)。在離子鍍過程中,離子的能量更強,離子繞射性更好,膜層的結(jié)合力、致密性、性能更好,具有較高的耐磨性、耐腐蝕性和導電性。
真空離子鍍膜技術的應用非常廣泛,常見的有:裝飾性鍍膜,工具模具硬質(zhì)鍍膜以及各種功能膜層。
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