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一、真空鍍膜機(jī)的工作原理
真空鍍膜機(jī)能夠在高真空下對(duì)物體表面進(jìn)行鍍膜處理。在真空鍍膜機(jī)中,真空室內(nèi)的壓強(qiáng)需要維持在一定的低壓狀態(tài)。因?yàn)樵诟邏籂顟B(tài)下,氣體分子與蒸發(fā)材料的原子撞擊,會(huì)引起物質(zhì)量子在氣體相之間的輸運(yùn)。而在低壓狀態(tài)下,這種輸運(yùn)則相對(duì)較弱,從而可以使物質(zhì)得以沉積在樣品表面上,實(shí)現(xiàn)鍍膜的目的。
二、真空鍍膜機(jī)維持泵的作用
真空鍍膜機(jī)中的維持泵,也叫“機(jī)械泵”,因?yàn)樗墓ぷ髟砼c機(jī)械相連。維持泵通過(guò)葉輪、轉(zhuǎn)子等運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),從真空室中抽出氣體,以維持真空室中的低壓狀態(tài)。當(dāng)真空室內(nèi)的壓強(qiáng)達(dá)到維持泵的最大負(fù)荷時(shí),維持泵就無(wú)法將氣體完全抽出,因此需要擴(kuò)散泵作為輔助支持。
三、擴(kuò)散泵的工作原理
擴(kuò)散泵是真空鍍膜機(jī)中一種重要的抽氣設(shè)備。其工作原理是將氣體在高溫下通過(guò)噴嘴產(chǎn)生的高速分子流進(jìn)行擴(kuò)散,從而將氣體運(yùn)送到泵體內(nèi)部,以降低真空室內(nèi)的壓強(qiáng)。擴(kuò)散泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)需要保持泵內(nèi)的真空狀態(tài),而這就需要維持泵將未被擴(kuò)散泵抽干的氣體再次抽出。因此,真空鍍膜機(jī)中的維持泵和擴(kuò)散泵是相互協(xié)同,共同維持整個(gè)真空系統(tǒng)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
維持泵的作用在真空鍍膜機(jī)中非常重要,它不僅僅是擴(kuò)散泵的輔助設(shè)備,而且也能夠在一定程度上幫助維持真空室的壓強(qiáng)。在實(shí)際應(yīng)用中,需要選擇合適的維持泵類型,以匹配擴(kuò)散泵的性能,保證真空鍍膜機(jī)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
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