光學鍍膜機是一種精密的設(shè)備，在使用時有以下注意事項：

一、操作前的準備

• 環(huán)境要求

• 溫度和濕度控制：光學鍍膜機對工作環(huán)境的溫度和濕度較為敏感。一般來說，溫度應保持在 20℃ - 25℃，相對濕度在 40% - 60%。這樣可以防止光學元件因熱脹冷縮而產(chǎn)生變形，同時避免水汽在鍍膜過程中對膜層質(zhì)量產(chǎn)生不良影響。例如，在高濕度環(huán)境下，水汽可能會混入鍍膜材料的蒸汽中，導致膜層出現(xiàn)裂紋等缺陷。

• 潔凈度維護：工作環(huán)境應保持高度潔凈。需要在無塵車間中使用，空氣中的塵埃顆粒應控制在一定范圍內(nèi)，如 ISO 7 級或更高標準（每立方米空氣中粒徑大于等于 0.5μm 的塵埃粒子數(shù)不超過 352000 個）。因為塵埃顆粒落在待鍍膜的光學元件表面會造成膜層的瑕疵。

• 設(shè)備檢查

• 機械部件檢查：檢查鍍膜機的真空室門是否密封良好，關(guān)閉后不應有漏氣現(xiàn)象。傳動部件如電機、絲桿等要確保運轉(zhuǎn)順暢，沒有卡頓。例如，真空室門的密封膠圈如果有破損，會導致抽真空時間變長，甚至無法達到所需的真空度。

• 電氣系統(tǒng)檢查：查看設(shè)備的電源連接是否正確，各電氣元件的接線是否牢固。檢查控制面板上的指示燈、按鈕等是否正常工作。同時，要確保設(shè)備接地良好，以防止靜電積累對電子元件和鍍膜過程造成損害。

• 真空系統(tǒng)檢查：檢查真空泵的油位是否在正常范圍內(nèi)，油質(zhì)是否良好。對于擴散泵，要檢查加熱系統(tǒng)是否正常，冷卻水管路是否通暢。例如，真空泵油不足會導致抽氣速度下降，影響真空度的提升。

• 蒸發(fā)源檢查：確認蒸發(fā)源（如電子槍、電阻蒸發(fā)舟等）的燈絲或加熱元件完好無損。對于電子槍，要檢查高壓電源是否穩(wěn)定，電子束的聚焦是否正常。如果蒸發(fā)源有損壞，可能會導致鍍膜材料蒸發(fā)不均勻，影響膜層的厚度和均勻性。

  
  

二、操作過程中的注意要點

• 樣品放置

• 清潔處理：待鍍膜的光學樣品表面必須進行嚴格的清潔處理，以去除油污、灰塵、指紋等雜質(zhì)。通常可以使用超聲波清洗機，配合適當?shù)那逑磩ㄈ缫掖嫉龋┻M行清洗。清洗后要用高純氮氣吹干或在潔凈環(huán)境下自然晾干。例如，指紋中的油脂成分會在鍍膜過程中引起膜層的附著力下降。

• 放置方式：將樣品正確放置在鍍膜機的夾具上，要確保樣品固定牢固，不會在鍍膜過程中發(fā)生晃動。同時，要根據(jù)鍍膜的要求調(diào)整樣品的位置和角度，以保證膜層的均勻性。例如，對于平面光學元件，要使其表面盡量與蒸發(fā)源的蒸發(fā)方向垂直，這樣可以使膜層在整個表面上均勻沉積。

• 鍍膜參數(shù)設(shè)置

• 真空度控制：根據(jù)鍍膜材料和工藝要求，精確設(shè)置真空度。不同的膜系和材料可能需要不同的真空環(huán)境。例如，在鍍制金屬膜時，通常需要較高的真空度（如 10?3 - 10?? Pa），以減少膜層中的雜質(zhì)和氣體分子的摻入。在抽真空過程中，要密切關(guān)注真空度的變化，當達到設(shè)定值后，還需要保持一段時間的穩(wěn)定，以確保真空系統(tǒng)內(nèi)的殘余氣體被充分排除。

• 蒸發(fā)速率控制：合理調(diào)節(jié)鍍膜材料的蒸發(fā)速率。這可以通過控制蒸發(fā)源的功率來實現(xiàn)。蒸發(fā)速率過快可能導致膜層粗糙、疏松，而蒸發(fā)速率過慢則會影響生產(chǎn)效率。例如，對于一些高熔點的材料，如二氧化鈦，需要較高的蒸發(fā)功率才能達到合適的蒸發(fā)速率，但過高的功率又可能引起材料的飛濺，影響膜層質(zhì)量。通常可以通過實驗和經(jīng)驗來確定蒸發(fā)速率。

• 膜厚控制：準確控制膜層的厚度是獲得良好光學性能的關(guān)鍵?？梢圆捎霉鈱W監(jiān)控法（如石英晶體振蕩法）或時間控制法來監(jiān)控和控制膜厚。石英晶體振蕩法是通過測量石英晶體片的頻率變化來反映膜層厚度的增加，其精度可以達到納米級。在設(shè)置膜厚參數(shù)時，要考慮到膜系設(shè)計的要求，不同的光學膜系對各層膜的厚度有嚴格的規(guī)定。

• 安全防護

• 輻射防護：如果設(shè)備使用電子槍蒸發(fā)源，電子槍在工作時會產(chǎn)生 X 射線。因此，設(shè)備必須配備完善的輻射防護裝置，如鉛屏蔽罩。操作人員要佩戴輻射劑量計，并且要避免在設(shè)備運行過程中長時間靠近電子槍，以減少輻射暴露。

• 高溫防護：在鍍膜過程中，蒸發(fā)源和被加熱的鍍膜材料會處于高溫狀態(tài)。要防止操作人員接觸到高溫部件而發(fā)生燙傷。同時，設(shè)備的周圍應保持良好的通風，以利于熱量散發(fā)，避免局部溫度過高引發(fā)安全事故。

• 電氣安全：由于設(shè)備涉及高電壓和高電流，操作人員在操作過程中要避免接觸電氣部件的裸露部分，防止觸電。在設(shè)備出現(xiàn)電氣故障時，要先切斷電源，然后由專業(yè)的維修人員進行檢查和維修。